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レポート概要
世界のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場規模は、2022年に5億2190万米ドルと評価され、2023年から2030年まで年平均成長率（CAGR）6.5％で成長すると予測されている。業界の拡大は、有機金属複合材料の熱安定性が低いことに起因している。マイクロエレクトロニクスデバイスに蒸着される第一列の金属膜（導電性）と誘電体（絶縁性）前駆体の需要は、主要企業による広範な研究開発活動の結果、銅のメタライゼーション技術の向上が期待され、それによって業界の成長が促進されるため、増加すると予想される。COVID-19の大流行は、2020年にhigh-kとALD/CVD金属前駆体市場を含む多くのグローバルビジネスに悪影響を及ぼした。
その結果、パンデミックへの対応が2020年の半導体セクター参加者の大半にとって主要な課題であることに変わりはなかった。COVID-19に起因する操業停止により、世界中のほとんどの製造工場が閉鎖または操業停止となった。半導体産業は、操業停止とそれに伴うサプライチェーンの混乱により、2020年前半に落ち込みを見せた。下半期には工場が再開されたものの、COVID-19以前の水準に正常化するには時間がかかり、回復のペースは鈍化すると予測される。これはほとんどの業界関係者にとって大きな課題となった。しかし、データへの迅速なアクセスと保存の必要性の高まりが、より高い誘電値を持つ材料への需要を促している。
ルテニウム、ロジウム、イリジウム、パラジウム、プラチナなどの貴金属の原子層蒸着（ALD）は、活発な研究分野になると予想される。新たな産業用途向けの薄膜材料に対する高い需要は、ALD技術の急速な発展に起因している。これらすべての要因が、予測期間中の業界成長を促進すると予想される。新しい化学気相成長（CVD）プロセスの開発を成功させるには、適切な有機金属前駆体の選択と設計が極めて重要である。誘電率の高い絶縁体は、金属-絶縁体-半導体（MIS）電界効果トランジスタの消費電力を下げるなど、最新の半導体デバイスで重要な役割を果たすため、バイヤーは好んで使用する。
誘電率の高いアルミニウム、ハフニウム、コバルト、チタン、タンタル、タングステン、ジルコニウムなどの金属前駆体の需要は予測期間中に増加すると予想され、世界的な産業の成長を支えている。このような先行物質は、金属薄膜の製造に採用されている。非半導体領域での使用と半導体産業の急速な拡大により、ALDは大幅な改良を遂げてきた。原子層堆積法のような最新の堆積技術は、厚さわずか数ナノメートルの超薄膜の堆積を精密に制御することを可能にしている。
さらにALDは、オングストローム・レベルでの膜厚制御や、高アスペクト比構造における印象的な成膜適合性も提供する。それゆえ、業界の成長を牽引している。次世代のスケーラブル・メモリや金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ（MOSFETs）デバイスに必要な高誘電率材料を製造するには、適切な前駆体を選択することが重要な問題となる。これらの半導体デバイスには、アスペクト比が大きく、成膜温度が低いコンフォーマル薄膜が必要である。高温成膜法がもたらす複雑さには、不規則な形状の層の接着力低下、層間原子拡散、形態変化、結晶性の変化などがある。
テクノロジー・インサイト
技術に基づき、業界は相互接続、キャパシタ、ゲートに区分される。メタルプリカーサは電極と相互接続の製造に利用され、high-kプリカーサはゲートとキャパシタの製造に主に採用される。2022年には、インターコネクトセグメントが業界をリードし、全体の収益の50.55％以上の最大シェアを占めた。インターコネクトとして知られる製造プロセスでは、銅（Cu）またはアルミニウム（Al）が金属のパターニングに使用され、集積回路（IC）内でシリコン（Si）を潜在的な害から保護するバリア金属層を提供する。
高度なMIM（Metal-Insulator-Metal）キャパシタ、DRAM、有機薄膜トランジスタ、OLED、不揮発性メモリー・デバイスなど、電子部品やガジェットの多くが、high-k誘電体層を使用している。トランジスタの微細化には、high-kメタルゲート技術が採用されている。ゲートセグメントは2023年から2030年にかけて最も高いCAGRを記録すると予想されている。DRAM用のAl2O3、Ta2O5、HfO2、ZrO2などの高誘電率材料、高誘電率ゲート酸化物、電極や配線の窒化物を使った薄膜を製造するためのALD技術に関する研究が盛んに行われている。
High-k誘電体とメタル・ゲート技術の組み合わせは、トランジスタ・サイズが厚さ1.0nm以下に微細化されたときに、ゲート・リークを大幅に削減する。半導体各社は、CMOS技術で使用されるMOSFETにHigh-kメタルゲート（HKMG）スタックを組み込み、45nm以下のノードまでデバイスの微細化を続けている。インテルが導入した主な技術には、強化されたチャネルの歪み、ハフニウム・ベースとHigh-kゲート電気、デュアル・ワーク機能金属代替ゲートなどがある。
地域インサイト
2022年にはアジア太平洋地域が業界を支配し、全体の収益の64.80%以上を占める最大のシェアを占めた。同地域は、中国の電子製品需要が平均を上回っていることや、電子機器生産の中国へのアウトソーシングが続いていることなどの要因から、予測期間中も優位を保つと見られている。また、ブラジル、ロシア、インド、中国（BRICs）経済圏では、低コスト、高い携帯性、多様性を備えた最終用途の電子製品に対するニーズが高まっているため、半導体デバイスに対する需要が高まっており、この地域の市場成長を大幅に押し上げると予想される。
北米も予測期間中に大きな成長を記録すると推定されている。米国の業界成長を後押ししている主な傾向は、半導体業界で使用されるナノテクノロジーの研究開発活動が活発化していることである。さらに、3D積層ICのような多面的なアーキテクチャを持ち、ALDのようなコスト効率が高くシームレスな製造プロセスを用いて製造する半導体デバイスの需要が高まっていることも、同国の市場成長を促進すると予想される。
主要企業と市場シェア
業界参加者の大半は、提携や買収を通じて世界的に業界シェアを拡大している。買収後、SAFCハイテックの事業はメルクのパフォーマンス・マテリアルズ部門と統合され、メルクの集積回路事業部門の一部門として運営される予定であった。プロセス・イノベーションセンター（CPI）とALD技術と薄膜コーティングサービスのメーカーであるBeneqは、プリンテッドエレクトロニクス・アプリケーションを活用するための戦略的提携契約を締結した。世界のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場で事業を展開している有力企業には、以下のようなものがある：
エア・リキード
エアープロダクツ＆ケミカルズ
プラクセア
リンデ
ダウ・ケミカル
株式会社トリケミカル研究所
サムスン
ストレムケミカルズ
コルナテック
メルクKGAA
High-kおよびCVD ALD金属前駆体の世界市場細分化
本レポートでは、世界、地域、国レベルでの収益成長を予測し、2018年から2030年までの各サブセグメントにおける最新の業界動向の分析を提供しています。この調査の目的のため、Grand View Research社は世界のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場レポートを技術および地域に基づいて区分しています：
技術展望（売上高、百万米ドル、2018年～2030年）
相互接続
コンデンサ
ゲイツ
地域別展望（売上高、百万米ドル、2018年～2030年）
北米
米国
カナダ
ヨーロッパ
英国
ドイツ
その他のヨーロッパ
アジア太平洋
中国
インド
日本
その他のアジア太平洋地域
ラテンアメリカ
ブラジル
メキシコ
その他のラテンアメリカ
中東・アフリカ
第1章 High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：方法論とスコープ
1.1 方法論の区分と範囲
1.2 情報収集
1.2.1.購入データベース
GVR社内データベース
1.2.3. 二次情報源および第三者の視点
1.2.4.一次調査
1.3.情報分析
データ分析モデル
1.4. 市場形成とデータの可視化
1.5. データ検証と出版
第2章.High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場
2.1 高誘電率およびCVD ALD金属前駆体市場 – 産業スナップショット、2018年～2030年
第3章.High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場
3.1 市場規模と成長見通し、2018年～2030年
3.2 産業バリューチェーン分析
3.3 市場ダイナミクス
市場促進要因分析
市場阻害要因/課題分析
市場機会分析
3.4. 普及・成長展望マッピング（主要機会の優先順位付け）
事業環境分析ツール
業界分析 – ポーターのファイブフォース分析
3.5.2. PEST分析
3.5.3. COVID-19インパクト分析
第4章.High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場。
2018～2030年の市場規模推計・予測および動向分析（売上高、USD Million）
4.2 インターコネクト
4.2.1.地域別市場規模推計・予測、2018年～2030年 (売上高、USD Million)
4.3 コンデンサ
2018～2030年の地域別市場予測（売上高、USD Million）
4.4. ゲート
2018〜2030年における地域別市場の推定と予測（売上高、USD Million）
第5章.High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場
5.1 High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：地域別、2020年・2030年
5.2 北米
5.2.1.技術別市場予測：2018年〜2030年（売上高、USD Million）
5.2.2. 米国
5.2.2.1.技術別の市場予測・推計、2018～2030年 （売上高、USD Million）
5.2.3. カナダ
技術別市場予測、2018年～2030年（売上高、USD Million）
ヨーロッパ
技術別市場予測、2018年～2030年（売上高、USD Million）
5.3.2. 英国
5.3.2.1.技術別市場予測：2018～2030年（売上高、USD Million）
ドイツ
技術別市場予測：2018～2030年（売上高、USD Million）
その他のヨーロッパ
技術別市場予測、2018年～2030年（収益、USD Million）
アジア太平洋地域
技術別市場予測、2018年～2030年（収益、USD Million）
5.4.2. 中国
5.4.2.1.技術別市場の推定と予測、2018年～2030年（売上高、USD Million）
インド
技術別市場予測、2018年～2030年（売上高、USD Million）
日本
2018～2030年の技術別市場の推定と予測（売上高、USD Million）
その他のアジア太平洋地域
技術別：2018年～2030年市場の予測・予測（収益、USD Million）
ラテンアメリカ
技術別：2018年～2030年市場の予測・推計（売上高、USD Million）
ブラジル
5.5.2.1.技術別：2018年～2030年市場の推定と予測（売上高、USD Million）
メキシコ
技術別市場予測：2018年～2030年（収益、USD Million）
ラテンアメリカのその他
技術別市場の予測、2018年～2030年 (収益、USD Million)
中東・アフリカ
技術別市場の推定と予測、2018年～2030年（収益、USD Million）
第6章 競争環境
エア・リキード
会社概要
業績
6.1.3. 製品ベンチマーク
6.1.4. 最近の動向
6.2. 株式会社ADEKA
6.2.1.会社概要
6.2.2. 製品ベンチマーク
6.2.3.
6.3. エアープロダクト＆ケミカルズ（株
6.3.1. 会社概要
6.3.2. 業績
6.3.3. 製品ベンチマーク
6.3.4. 最近の動向
6.4. コルナテック
6.4.1. 会社概要
6.4.2. 業績
6.4.3. 製品ベンチマーク
6.4.4. 最近の動向
6.5. ダウ・ケミカル
6.5.1. 会社概要
6.5.2. 業績
6.5.3. 製品ベンチマーク
6.5.4. 最近の動向
6.6.リンデ
6.6.1. 会社概要
6.6.2. 業績
6.6.3.製品ベンチマーク
6.6.4. 最近の動向
6.7. メルクKGAA
6.7.1. 会社概要
6.7.2. 業績
6.7.3.製品ベンチマーク
6.7.4.
6.8. Nanmat Technology Co.Ltd.
6.8.1. 会社概要
6.8.2. 業績
6.8.3. 製品ベンチマーク
6.8.4.
6.9.プラクセア
6.9.1. 会社概要
6.9.2. 業績
6.9.3. 製品ベンチマーク
6.9.4.
6.10. サムスン
6.10.1. 会社概要
6.10.2. 業績
6.10.3. 製品ベンチマーク
6.10.4.
6.11. ストレムケミカルズ
6.11.1. 会社概要
6.11.2. 業績
6.11.3. 製品ベンチマーク
6.11.4. 最近の動向
6.12. トリケミカル研究所
6.12.1. 会社概要
6.12.2. 業績
6.12.3. 製品ベンチマーク
6.12.4.
テーブル一覧
表1 主要企業ランキング分析（2022年
表2 主要市場企業が提供するソリューション
表3 相互接続市場、地域別、2018年～2030年（百万米ドル）
表4 コンデンサ市場：地域別、2018年～2030年（百万米ドル）
表5 ゲート市場：地域別、2018年～2030年（百万米ドル）
表6 北米high-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年（百万米ドル）
表7 米国high-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表8 カナダのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表9 欧州のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表10 英国high-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表11 ドイツのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表12 その他のヨーロッパのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表13 アジア太平洋地域のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表14 中国high-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表15 インドのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表16 日本のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表17 その他のアジア太平洋地域のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表18 ラテンアメリカのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表19 ブラジルhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：技術別、2018～2030年（百万米ドル）
表20 メキシコのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表21 その他のラテンアメリカのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
表22 中東・アフリカのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場、技術別、2018年～2030年 (百万米ドル)
図表一覧
図1 High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場のセグメンテーション
図2 市場調査プロセス
図3 一次調査プロセス
図4 情報分析
図5 データの検証と公表
図6 高誘電率およびCVD ALD金属前駆体市場のスナップショット
図7 高誘電率およびCVD ALD金属前駆体市場のバリューチェーン分析
図8 浸透と成長の展望マッピング
図9 高誘電率およびCVD ALD金属前駆体市場ポーターのファイブフォース分析
図 10 高誘電率および CVD ALD 金属前駆体市場：PEST分析
図11 高誘電率およびCVD ALD金属前駆体市場：技術セグメント別展望と市場シェア、2022年・2030年
図12 High-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：地域別セグメント展望と市場シェア、2022年・2030年
図13 北米のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：主要課題
図14 欧州のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：要点
図15 アジア太平洋地域のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：要点
図16 中南米のhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：要点
図17 MEAのhigh-kおよびCVD ALD金属前駆体市場：主要な課題
