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ウェーハ洗浄装置市場は、2023年の101億米ドルから2028年には165億米ドルに達すると予測され、2023～2028年のCAGRは10.4%である。
ウエハーとは、集積回路（IC）の製造に不可欠なエレクトロニクスの分野で、半導体材料から作られたスリムなスライスまたは土台のことである。これらのウェハーは、シリコンのような非常に純度が高く欠陥のない物質を使用して、細心の注意を払って製造される。デバイスに組み込まれる前に、これらのウェハは入念な化学洗浄を受けます。自動、半自動、手動のウェハー洗浄装置には、枚葉式スプレーシステム、枚葉式低温システム、バッチ浸漬洗浄システム、バッチスプレー洗浄システム、スクラバーなど、さまざまな選択肢があります。洗浄装置の選択は、ウェーハサイズ、汚染物質の性質、スループット要件、対象デバイスの構成などの要因によって決まります。
ウエハー表面に付着した不純物を除去することで、半導体デバイスへの応用を可能にします。これらのウエハー洗浄装置は、シリコンウエハー、化合物半導体デバイスウエハー、MEMS、フラットパネルディスプレー、ハードディスクドライブ用リード/ライトヘッド、フォトマスク、プリント回路基板（PCB）などを清浄化する用途に使用されている。MEMS、CIS、メモリー、RFデバイス、LED、インターポーザー、ロジックなど、さまざまな用途でウェハーの需要が高い。ウェーハの需要が増え続ける中、ウェーハの製造・洗浄工程を徹底的かつ効率的に行うため、ウェーハ洗浄装置の採用が増加している。
ウェーハ洗浄装置市場は、枚葉式スプレーシステム、枚葉式低温システム、バッチ式浸漬洗浄システム、バッチ式スプレー洗浄システム、スクラバーなどの装置タイプ別に分類される。
ウェーハ洗浄装置の市場ダイナミクス
ドライバーAIベースのサーバーによるメモリデバイスの需要拡大
近年、さまざまな用途で人工知能（AI）の導入が急増している。ChatGPTのようなAIベースのチャットボットの人気の高まりに起因する絶えず成長しているジェネレーティブAI市場は、ジェネレーティブAI市場の成長を促進する主な要因である。そのようなAIベースのチャットボットの人気の高まりは、メモリとストレージデバイスの需要を促進し、その後、特に今後5年間の平均販売価格（ASP）の傾向を改善すると予想される。また、メモリやストレージデバイスの価格動向の改善は、メモリやストレージデバイスのメーカーが過剰在庫を削減するのに役立つと予想される。メモリ・ベース・デバイスの採用が拡大し、それに伴いメモリ・デバイスの出荷が世界的に増加することで、半導体産業の成長が促進され、ウェーハ洗浄装置の市場成長に拍車がかかると予想される。
抑制要因制約： ウェハー洗浄時に有害化学物質が排出されることによる環境への懸念
ウエハー洗浄は、半導体デバイスの製造工程で最も頻繁に行われるステップのひとつです。しかし、デバイスの微細化とそれに伴う寸法縮小の傾向は、不純物レベルの増加をもたらしています。ウェハー製造および洗浄工程では、アンチモン（Sb）、三酸化アンチモン（SbO3）、五フッ化ヒ素（AsF5）、ヒ素（As）、三塩化ホウ素（BCl3）、三フッ化ホウ素（BF3）、塩素（Cl）、ゲルマン（GeH4）、硫化水素（H2S）、過酸化水素（H2O2）、酸化炭素などの有毒な化学物質や酸が使用されます。これらの化学物質はすべて危険で有毒であり、人の健康や環境に悪影響を及ぼす。そのため、管理された環境で使用しなければならない。さらに、ウェハーの損傷や汚染を除去するために一般的に使用されている洗浄技術である湿式化学洗浄プロセスでは、環境に有害な化学薬品や酸を大量に使用します。しかし、技術の進歩や、プラズマ洗浄、短波長、紫外線照射などのドライ洗浄プロセスなどの代替技術の出現により、長期的にはウェハー洗浄が環境に与える悪影響の軽減が期待されている。
チャンス技術の進歩
近年、化合物半導体技術に関連するいくつかの技術的進歩があった。例えば、GaN半導体デバイスは、様々なアプリケーションでの需要を牽引するいくつかの技術的進歩を目の当たりにしてきた。有機金属化学気相成長法（MOCVD）や分子線エピタキシー法（MBE）といったGaN結晶成長技術の進歩は、その製造プロセスに導入されている。これらの技術は、より低い欠陥密度で高品質のGaN材料を提供する。一方、GaN-on-GaN 技術は、GaN 半導体デバイスが高い耐圧性と拡張性を持つことを可能にするため台頭してきている。化合物半導体デバイスに関連する絶え間ない技術進歩は、トランジスタ、ダイオード、アンプ、ICなどのディスクリートおよび集積半導体デバイスの生産に急増をもたらし、その後、ウェーハ洗浄の必要性を増加させると予想される。
課題米国における新工場の建設スケジュールの長期化
新しいファブの開発には、どの国でも約2年から4年かかる。しかし、米国では日本、中国、台湾よりも新工場の開発に要する日数が多い。米国には、連邦政府によって施行された環境・衛生・安全（EHS）規制がいくつかあり、新しい半導体製造施設の建設時に遵守しなければならない。これらの規制は環境への悪影響を減らすのに役立っているものの、米国における新規・先端製造施設の建設ペースを著しく低下させている。従来は、大気浄化法（1970年）やその他の有害廃棄物規制が、新しい製造施設を開発する際に遵守される主要な規制であった。しかし、環境品質審議会（CEQ）の国家環境政策法（NEPA）と2022年のCHIPS法の成立により、これらの規制は連邦政府から資金提供されるすべてのプロジェクトに適用されるため、米国での新しい製造施設の建設にかかる時間はさらに長くなった。米国における政府の厳しい規制は、同国における新たな製造施設の建設に要する時間を大幅に増加させると予想される。
予測期間中、枚葉式スプレーシステムがウェーハ洗浄装置市場で最も高いCAGRで成長する見込み
ウェーハの洗浄工程では、汚染や不純物がデバイスの性能に悪影響を及ぼします。高品質のデバイスを得るためには、半導体製造中にこれらの汚染や不純物を除去する必要があります。10年ごとにデバイスの寸法は小さくなり、洗浄中にデバイスにかかる機械的な力にさらされやすくなり、欠陥の形成につながる可能性があります。枚葉式スプレー洗浄システムは、最小限のダメージで不純物を除去する非常に有望な洗浄システムです。この洗浄システムでは、固定されたスプレーカラムに枚葉式ウェーハをセットし、SC-1、SC-2、脱イオン水などの薬液のミストにウェーハを曝します。このプロセス中、ウェハはスピンされ、リンスされます。紡糸後、ウェハは窒素（N2）雰囲気で乾燥される。これらのシステムは非常に高価ですが、効果的な洗浄とウェハーへの最小限のダメージに期待されています。
2022年のウェーハ洗浄装置市場はメモリ用途が最大シェア
ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ（DRAM）、シンクロナス・ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ（SDRAM）、フラッシュ・メモリ（NANDまたはNOR）など、多様な形態のメモリは、コンピュータ、ノートパソコン、デジタル音楽プレーヤー、ゲーム機器、モバイル・インターネット機器などに応用されている。メモリー・チップの製造には、ウェハーの裏面から全体を洗浄する初期工程と、ウェハー上にチップを組み込む工程が含まれる。このウェハは、ウェハ洗浄装置によって洗浄されます。現在、NAND型フラッシュメモリは、携帯電子機器に広く使用されています。メモリの寸法がナノスケールまで小さくなり続ける中、シリコンウェーハの洗浄と欠陥の除去は、品質と効率の向上を達成するための極めて重要な課題となっています。メモリは繊細であるため、精密な洗浄が不可欠であり、洗浄が不十分であると適切な機能が損なわれる可能性があります。
予測期間中、アジア太平洋地域の市場シェアが最も高くなると予想される
過去40年半の間、アジア太平洋（APAC）地域は半導体製造装置分野で大きな影響力を行使し、その軌跡を目覚しい形で形成してきた。1970年代以降のカリフォルニアのシリコンバレーの発展は、APAC地域の関係者による支援に負うところが大きい。
今後の予測期間において、APAC地域はウェーハ洗浄装置市場で優位な地位を維持すると予測されている。この優位性は、中国における費用対効果の高い労働力の利用可能性、台湾における製造設備の革新と強化における躍進、日本における半導体装置製造能力の継続的な進歩など、いくつかの要因に起因している。これらの要因は総体的に、アジアの半導体産業の実力を強化する様々な最先端の利点に寄与している。APAC地域では、ウェーハ洗浄装置市場は主に台湾、韓国、日本、中国の主要企業が牽引している。中でも韓国と台湾は、2022年時点でウェーハ洗浄装置市場の世界的なフロントランナーとして台頭してくると予想されている。
主要市場プレイヤー
ウェーハ洗浄装置メーカーの主なプレーヤーには、株式会社SCREENホールディングス（日本）、東京エレクトロン株式会社（日本）、Applied Materials社（米国）、LAM Research Corporation社（米国）、芝浦メカトロニクス株式会社（日本）、PVA TePLA AG社（ドイツ）、Ent.(日本）、東京エレクトロン株式会社（日本）、アプライド マテリアルズ株式会社（米国）、LAM Research Corporation（米国）、芝浦メカトロニクス株式会社（日本）、PVA TePLA AG（ドイツ）、Entregris Inc、(米国）、SEMES（米国）、Modutek.com（日本）、Veeco Instruments Inc.（米国）、東邦テクノロジー（米国）、ULTRON SYSTEMS, INC.（米国）、Akrion Technologies（米国）、Axus Technology（米国）、芝浦メカトロニクス株式会社（日本）など。これらの企業は、製品投入、買収、提携といった有機的・無機的な成長戦略を駆使し、市場での地位を強化している。
本調査では、ウェーハ洗浄装置市場を、ハードウェア、ソフトウェア、サービス、業種、地域に基づいて、地域レベルおよび世界レベルで区分している。
最近の動向
東京エレクトロン株式会社（東京都港区、社長：竹中博司）は、2023年7月に山梨県保坂事業所内に新開発棟を竣工いたします。これにより、東京エレクトロンの技術開発力を強化し、半導体市場の発展に不可欠な製品の成長をサポートします。
株式会社SCREENホールディングスは2023年1月、半導体製造装置専用の新工場（エスキューブ4）を竣工した。既存の彦根事業所内に建設したもので、同社の半導体製造能力にとって大きな進展となる。
SCREEN SPEは2022年12月、世界最高水準のスループットと独自の洗浄技術を搭載した枚葉式洗浄装置「SU-3400」を発表する。同装置は、6段積みタワーと小型洗浄チャンバーによる革新的な設計により、設置面積を30％削減。24チャンバーを搭載し、最大1,200枚/時という高い実用処理能力を実現しました。
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ（本社：東京都港区、代表取締役社長：田中 孝司、以下「SCREEN」）とimec株式会社（本社：東京都港区、代表取締役社長：大西 宏明、以下「imec」）は、2022年12月、先進的かつ持続可能な技術開発に関する共同開発契約を更新しました。SCREEN のウェーハ洗浄技術と、imec のナノエレクトロニクス技術やデジタル技術を活用する。
2022年11月、ラム・リサーチ・コーポレーションは、ウェットプロセス半導体装置の世界的プロバイダーであるSEMSYSCO GmbHをGruenwald Equityおよびその他の投資家から買収した。この買収により、特にハイパフォーマンス・コンピューティング（HPC）、人工知能（AI）、その他のデータ集約型アプリケーションに対応する最先端のロジックチップやチップレットベースのソリューションに適した高度なパッケージングにおけるラムの能力が強化された。
1 はじめに（ページ – 31）
1.1 研究目的
1.2 市場の定義
1.3 調査範囲
1.3.1 含まれるものと除外されるもの
1.3.2 対象市場
1.3.3 地域範囲
1.3.4年を考慮
1.4 通貨
1.5袋サイズ
1.6 リミット
1.7 利害関係者
1.8 変更点の概要
1.9 景気後退の影響
2 研究方法 (ページ – 36)
2.1 調査データ
図1 ウエハー洗浄装置市場：調査デザイン
2.1.1 二次データ
2.1.1.1 二次資料からの主要データ
2.1.1.2 主な二次情報源
2.1.2 一次データ
2.1.2.1 一次資料からの主要データ
2.1.2.2 Primary research participants across supply side
2.1.2.3 Breakdown of primary interviews
2.1.2.4 Key industry insights
2.1.3 SECONDARY AND PRIMARY RESEARCH
2.2 MARKET SIZE ESTIMATION
FIGURE 2 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: APPROACH 1 (SUPPLY SIDE): REVENUE GENERATED BY KEY PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
FIGURE 3 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: APPROACH 2 (SUPPLY SIDE): ILLUSTRATION OF REVENUE ESTIMATION OF KEY PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
FIGURE 4 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: APPROACH 3 (DEMAND SIDE) –BOTTOM-UP APPROACH TO ESTIMATE WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET SIZE BASED ON REGION
2.2.1 BOTTOM-UP APPROACH
2.2.1.1 Estimation of market size using bottom-up approach
FIGURE 5 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: BOTTOM-UP APPROACH
2.2.2 TOP-DOWN APPROACH
2.2.2.1 Estimation of market size using top-down approach
FIGURE 6 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: TOP-DOWN APPROACH
2.3 MARKET SHARE CALCULATION
2.4 DATA TRIANGULATION
FIGURE 7 DATA TRIANGULATION
2.5 RISK ASSESSMENT
TABLE 1 RISK FACTOR ANALYSIS
2.5.1 IMPACT OF RECESSION ON GDP
2.6 RESEARCH ASSUMPTIONS AND LIMITATIONS
2.6.1 RESEARCH ASSUMPTIONS
2.6.2 RESEARCH LIMITATIONS
3 EXECUTIVE SUMMARY (Page No. – 51)
FIGURE 8 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, 2019–2028
FIGURE 9 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO ACCOUNT FOR LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, IN 2028
FIGURE 10 300 MM WAFERS TO DOMINATE WAFER MARKET DURING FORECAST PERIOD
FIGURE 11 MEMORY DEVICES TO LEAD WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, DURING FORECAST PERIOD
FIGURE 12 ASIA PACIFIC TO RECORD HIGHEST CAGR IN GLOBAL WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FROM 2023 TO 2028
4 PREMIUM INSIGHTS (Page No. – 55)
4.1 ATTRACTIVE OPPORTUNITIES FOR PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
FIGURE 13 GROWING POPULARITY OF 3D ICS TO BOOST DEMAND FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT IN COMING YEARS
4.2 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE
FIGURE 14 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO CAPTURE LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN 2023
4.3 WAFER MARKET, BY WAFER SIZE
FIGURE 15 300 MM WAFERS TO ACCOUNT FOR LARGEST MARKET SHARE IN 2023
4.4 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION
FIGURE 16 MEMORY DEVICES TO CAPTURE LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN 2023
4.5 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY APPLICATION AND COUNTRY
FIGURE 17 MEMORY DEVICES AND CHINA HELD LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY APPLICATION AND COUNTRY, RESPECTIVELY, IN 2022
5 MARKET OVERVIEW (Page No. – 58)
5.1 INTRODUCTION
5.2 MARKET DYNAMICS
FIGURE 18 MARKET DYNAMICS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
5.2.1 DRIVERS
5.2.1.1 Increasing adoption of MEMS technology across various industries
5.2.1.2 Growing demand for memory devices with exceptional speed and accuracy from AI-based servers
5.2.1.3 Increasing use of electric vehicles
FIGURE 19 ELECTRIC CAR SALES DATA, 2019–2023 (MILLION UNITS)
5.2.1.4 Surging adoption of 5G technology
FIGURE 20 5G MOBILE SUBSCRIPTIONS, 2019–2028 (MILLION UNITS)
FIGURE 21 IMPACT ANALYSIS OF DRIVERS ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
5.2.2 RESTRAINTS
5.2.2.1 Environmental concerns owing to emission of hazardous chemicals during wafer cleaning
FIGURE 22 IMPACT ANALYSIS OF RESTRAINTS ON WAFER CLEANING MARKET
5.2.3 OPPORTUNITIES
5.2.3.1 Growing popularity of 3D ICs
5.2.3.2 Rising adoption of technologically advanced semiconductor devices
5.2.3.3 Increasing adoption of silicon-based semiconductor devices in IoT applications
FIGURE 23 IMPACT ANALYSIS OF OPPORTUNITIES ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
5.2.4 CHALLENGES
5.2.4.1 Possibility of water shortage in semiconductor fab facilities globally
5.2.4.2 Longer construction timelines associated with new semiconductor fabs in US due to stringent regulations
FIGURE 24 IMPACT ANALYSIS OF CHALLENGES ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
5.3 SUPPLY CHAIN ANALYSIS
FIGURE 25 WAFER CLEANING EQUIPMENT SUPPLY CHAIN ANALYSIS
TABLE 2 PARTICIPANTS AND THEIR ROLE IN ECOSYSTEM
5.4 ECOSYSTEM MAPPING
5.4.1 WAFER CLEANING EQUIPMENT ECOSYSTEM ANALYSIS
FIGURE 26 WAFER CLEANING EQUIPMENT ECOSYSTEM
5.4.2 WAFER CLEANING STEPS (RCA CLEAN PROCESS)
5.4.2.1 First step (SC-1): Organic and particle cleaning
5.4.2.2 Second step: Oxide stripping
5.4.2.3 Third step (SC-2): Ionic cleaning
5.4.2.4 Rinsing and drying (optional process)
FIGURE 27 WAFER CLEANING OBJECTIVES
TABLE 3 SOLUTIONS/MIXTURES/COMPOUNDS USED IN WAFER CLEANING APPLICATIONS
5.5 TECHNOLOGY TRENDS
5.5.1 PIRANHA ETCH CLEANING
5.5.2 MEGASONIC CLEANING
5.5.3 OZONE CLEANING
5.6 INDICATIVE PRICE ANALYSIS
TABLE 4 INDICATIVE PRICE OF SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS
TABLE 5 INDICATIVE PRICE OF CHEMICALS USED IN WAFER CLEANING
5.7 PATENT ANALYSIS
TABLE 6 PATENTS FILED AND GRANTED, JANUARY 2012–DECEMBER 2022
FIGURE 28 NUMBER OF PATENTS GRANTED FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT, 2012–2022
FIGURE 29 TOP 10 COMPANIES WITH HIGHEST NUMBER OF PATENT APPLICATIONS, JANUARY 2012–DECEMBER 2022
TABLE 7 TOP 20 PATENT OWNERS, JANUARY 2012–DECEMBER 2022
5.8 PORTER’S FIVE FORCES ANALYSIS
FIGURE 30 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: PORTER’S FIVE FORCES ANALYSIS, 2022
FIGURE 31 IMPACT ANALYSIS OF PORTER’S FIVE FORCES ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, 2022
TABLE 8 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: PORTER’S FIVE FORCES ANALYSIS, 2022
5.8.1 THREAT OF NEW ENTRANTS
5.8.2 THREAT OF SUBSTITUTES
5.8.3 BARGAINING POWER OF SUPPLIERS
5.8.4 BARGAINING POWER OF BUYERS
5.8.5 INTENSITY OF COMPETITIVE RIVALRY
5.9 KEY STAKEHOLDERS AND BUYING CRITERIA
5.9.1 KEY STAKEHOLDERS IN BUYING PROCESS
FIGURE 32 INFLUENCE OF STAKEHOLDERS ON BUYING PROCESS OF WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE
TABLE 9 INFLUENCE OF STAKEHOLDERS ON BUYING PROCESS OF WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE (%)
5.9.2 BUYING CRITERIA
FIGURE 33 KEY BUYING CRITERIA FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE
TABLE 10 KEY BUYING CRITERIA FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE
5.10 CASE STUDIES
5.10.1 ECO-SNOW SYSTEMS COLLABORATES WITH OWENS DESIGN TO DEVELOP 300 MM WAFER CLEANING PLATFORM TO REMOVE IMPURITIES
5.10.2 LEADING PROVIDER OF WAFER CLEANING EQUIPMENT COLLABORATES WITH TISMO TECHNOLOGY SOLUTIONS TO DEVELOP HMI SYSTEM FOR PLASMA CLEANING
5.11 TRADE DATA ANALYSIS
TABLE 11 EXPORT DATA FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022 (USD MILLION)
FIGURE 34 EXPORT VALUES FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022
TABLE 12 IMPORT DATA FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022 (USD MILLION)
FIGURE 35 IMPORT VALUES FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022
5.12 TARIFF AND REGULATORY LANDSCAPE
5.12.1 TARIFFS
TABLE 13 MFN TARIFFS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT EXPORTED BY US
5.12.2 REGULATORY BODIES, GOVERNMENT AGENCIES, AND OTHER ORGANIZATIONS
5.12.2.1 North America
5.12.2.2 Europe
5.12.2.3 Asia Pacific
5.12.2.4 RoW
5.12.3 REGULATIONS
5.12.4 STANDARDS
5.13 TRENDS/DISRUPTIONS IMPACTING CUSTOMER BUSINESS
FIGURE 36 REVENUE SHIFT AND NEW REVENUE POCKETS FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET
5.14 KEY CONFERENCES AND EVENTS, 2023–2024
TABLE 14 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: LIST OF CONFERENCES AND EVENTS
6 OPERATING MODES OF WAFER CLEANING EQUIPMENT (Page No. – 86)
6.1 はじめに
6.2 オートマチック
6.3 セミオート
6.4 手動
7 排水洗浄に使用される技術とプロセス （ページ – 87）
7.1 はじめに
7.2 湿式化学洗浄
図 37 湿式化学洗浄プロセス
7.2.1 湿式洗浄工程におけるHF酸溶液の使用
7.2.2 湿式洗浄における硫酸の使用
7.2.3 RCAクリーニング・プロセス
7.2.4 代替洗浄プロセス
7.3 ベーパードライクリーニング
7.3.1 気相洗浄
7.3.2 プラズマ剥離洗浄
7.4 水性洗浄
図 38 標準的なウェーハ洗浄プロセス
7.4.1 水性フェオール洗浄
7.4.2 水性ベオール洗浄
7.5 極低温エアロゾルと超臨界流体洗浄
7.6 新興技術
7.6.1 レーザークリーニング技術
7.6.1.1 ドライレーザー洗浄
7.6.1.2 スチームレーザー洗浄
7.6.2 水性ベースの新興技術
7.6.2.1 泡／泡洗浄
7.6.2.2 浸漬圧脈動洗浄
7.6.2.3 スプレー圧脈動洗浄
7.6.3 化学ベースの新興技術
7.6.4 乾式粒子除去技術
7.6.4.1 液体クラスター
7.6.4.2 病気以外のクリーニング
8 排水洗浄プロセスおよび装置における不純物の分析 （ページ – 93）
8.1 導入
表 15 不純物によるウェハーへの影響（汚染物質タイプ別
8.2 金属
8.3 微粒子
8.4 ケミカル
9 WAFER市場：WAFERサイズ別（ページNo.- 96）
9.1 はじめに
図 39 300 mm ウェーハが予測期間中に最も高い CAGR を記録する
表16 ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2019-2022年（百万平方インチ）
表 17 ウエハー市場、ウエハーサイズ別、2023-2028 年（百万平方インチ）
9.2 ≤150 MM
9.2.1 大口径ウェーハの出現が小口径ウェーハの採用に悪影響を与える
TABLE 18 ≤150 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 19 ≤150 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
9.3 200 MM
9.3.1 RISING ADOPTION OF 200 MM WAFERS TO BALANCE PRODUCTION EFFICIENCY AND YIELD RATES TO DRIVE MARKET
TABLE 20 200 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 21 200 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
9.4 300 MM
9.4.1 ABILITY OF 300 MM WAFERS TO FACILITATE ADVANCED FABRICATION TECHNIQUES TO DRIVE ADOPTION IN MEMORY CHIPS AND ICS
FIGURE 40 MEMORY DEVICES TO HOLD LARGEST SHARE OF 300 MM WAFER MARKET IN 2028
TABLE 22 300 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 23 300 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
10 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE (Page No. – 103)
10.1 INTRODUCTION
TABLE 24 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 41 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO HOLD LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN 2028
TABLE 25 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
10.2 SINGLE-WAFER CLEANING SYSTEMS
10.2.1 ABILITY OF SINGLE-WAFER CLEANING SYSTEMS TO EFFICIENTLY CLEAN WAFER WITH MINIMAL DAMAGE TO DRIVE MARKET
TABLE 26 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 42 MEMORY DEVICES TO CAPTURE LARGEST SHARE OF SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEM MARKET THROUGHOUT FORECAST PERIOD
TABLE 27 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
10.3 SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS
10.3.1 POTENTIAL TO REMOVE CONTAMINANTS AT ULTRA-LOW TEMPERATURE TO BOOST ADOPTION OF SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS
TABLE 28 SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 43 MEMORY DEVICES TO DOMINATE SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEM MARKET IN 2028
TABLE 29 SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
10.4 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS
10.4.1 PROFICIENCY IN CLEANING MULTIPLE WAFERS SIMULTANEOUSLY TO FUEL DEPLOYMENT OF BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS
TABLE 30 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 44 MEMS DEVICES TO EXHIBIT HIGHEST CAGR IN BATCH IMMERSION SYSTEM MARKET DURING FORECAST PERIOD
TABLE 31 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
10.5 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS
10.5.1 COMPETENCY IN HANDLING LARGE BATCHES WITH HIGH THROUGHPUT TO INCREASE IMPLEMENTATION OF BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS
TABLE 32 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 45 LEDS TO EXHIBIT SECOND-HIGHEST CAGR IN BATCH SPRAY CLEANING SYSTEM MARKET DURING FORECAST PERIOD
TABLE 33 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
10.6 SCRUBBERS
10.6.1 CAPABILITY TO REMOVE TINY PARTICLES ON WAFERS TO DRIVE DEMAND FOR SCRUBBERS
TABLE 34 SCRUBBERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 46 MEMS DEVICES TO RECORD HIGHEST CAGAR IN SCRUBBER MARKET DURING FORECAST PERIOD
TABLE 35 SCRUBBERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
11 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION (Page No. – 116)
11.1 INTRODUCTION
TABLE 36 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 47 MEMORY DEVICES TO DOMINATE WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET THROUGHOUT FORECAST PERIOD
TABLE 37 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 38 WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCH)
TABLE 39 WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCH)
11.2 COMPETITOR ANALYSIS
11.3 MEMS DEVICES
11.3.1 HIGH DEMAND FOR MEMS DEVICES FROM CONSUMER ELECTRONICS MANUFACTURERS TO DRIVE MARKET
TABLE 40 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 41 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 42 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 43 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 44 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 48 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS TO LEAD WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR MEMS APPLICATIONS DURING FORECAST PERIOD
TABLE 45 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 46 MEMS DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 47 MEMS DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
11.4 CIS
11.4.1 RISING ADOPTION OF CMOS IMAGE SENSORS IN AEROSPACE AND MEDICAL IMAGING APPLICATIONS TO BOOST DEMAND FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT
TABLE 48 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 49 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 50 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 51 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 52 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 49 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO ACCOUNT FOR LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR CIS APPLICATIONS IN 2030
TABLE 53 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 54 CIS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 55 CIS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
11.5 MEMORY DEVICES
11.5.1 INCREASING DEPLOYMENT OF NAND FLASH MEMORY CHIPS IN CONSUMER ELECTRONICS TO SUPPORT MARKET GROWTH
TABLE 56 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 57 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 58 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 59 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 60 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 50 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS TO COMMAND WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR MEMORY DEVICES FROM 2023 TO 2028
TABLE 61 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 62 MEMORY DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 63 MEMORY DEVICES: WAFER, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
11.6 RF DEVICES
11.6.1 RISING INTEGRATION OF RF DEVICES INTO SMARTPHONES TO CONTRIBUTE TO MARKET GROWTH
TABLE 64 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 65 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 66 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 67 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 68 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 51 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS TO HOLD LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR RF DEVICES IN 2028
TABLE 69 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 70 RF DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 71 RF DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
11.7 LEDS
11.7.1 INCREASING USE OF LEDS IN SMART LIGHTING SYSTEMS TO BOOST DEMAND FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT
TABLE 72 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 73 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 74 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 75 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 76 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 52 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO CAPTURE MAJORITY OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET SHARE FOR LEDS IN 2028
TABLE 77 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 78 LEDS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 79 LEDS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
11.8 INTERPOSERS
11.8.1 SURGING DEMAND FOR ADVANCED PACKAGING SOLUTIONS TO DRIVE SEGMENTAL GROWTH
TABLE 80 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 81 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 82 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 83 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 84 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 53 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO ACCOUNT FOR LARGEST MARKET SHARE FOR INTERPOSERS IN 2028
TABLE 85 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 86 INTERPOSERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 87 INTERPOSERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
11.9 LOGIC DEVICES
11.9.1 GROWING DEPLOYMENT OF LOGIC DEVICES IN MICROPROCESSORS, MICROCONTROLLERS, AND GRAPHIC CHIPS TO ACCELERATE MARKET GROWTH
TABLE 88 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 89 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 90 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 91 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 92 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 54 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO CAPTURE LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR LOGIC DEVICES IN 2028
TABLE 93 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 94 LOGIC DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 95 LOGIC DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
11.1 OTHERS
TABLE 96 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 97 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 98 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 99 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 100 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION)
FIGURE 55 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO DOMINATE WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR OTHER APPLICATIONS FROM 2023 TO 2028
TABLE 101 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 102 OTHERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES)
TABLE 103 OTHERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES)
12 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION (Page No. – 147)
12.1 INTRODUCTION
FIGURE 56 CHINA TO EXHIBIT HIGHEST CAGR IN GLOBAL WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FROM 2023 TO 2028
TABLE 104 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 105 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
12.2 NORTH AMERICA
FIGURE 57 NORTH AMERICA: REGION SNAPSHOT
TABLE 106 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 107 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 108 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 109 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
12.2.1 NORTH AMERICA: RECESSION IMPACT
12.2.2 US
12.2.2.1 Presence of manufacturing giants such as Intel and Global Foundries to drive market growth
12.2.3 CANADA
12.2.3.1 Government-led initiatives promoting use of electric vehicles to support market growth
12.2.4 MEXICO
12.2.4.1 Thriving telecommunications and energy sectors to fuel market growth
12.3 EUROPE
FIGURE 58 EUROPE: REGION SNAPSHOT
TABLE 110 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 111 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 112 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 113 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
12.3.1 EUROPE: RECESSION IMPACT
12.3.2 GERMANY
12.3.2.1 Presence of silicon foundries and chipmakers to drive market
12.3.3 FRANCE
12.3.3.1 Growing focus on development of advanced communication network technologies to foster market growth
12.3.4 ITALY
12.3.4.1 Existence of fabrication plants and OSAT companies to support market growth
12.3.5 UK
12.3.5.1 Rising demand for electronic systems to contribute to market growth
12.3.6 REST OF EUROPE
12.4 ASIA PACIFIC
FIGURE 59 ASIA PACIFIC: REGION SNAPSHOT
TABLE 114 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 115 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 116 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 117 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION)
12.4.1 ASIA PACIFIC: RECESSION IMPACT
12.4.2 TAIWAN
12.4.2.1 Presence of several giant OSAT vendors to fuel market growth
12.4.3 CHINA
12.4.3.1 Strong focus on achieving self-reliance in memory and chip technologies to accelerate market growth
12.4.4 JAPAN
12.4.4.1 Presence of prominent wafer cleaning equipment manufacturers to fuel market growth
12.4.5 SOUTH KOREA
12.4.5.1 Government strategies to expedite growth of semiconductor industry to support market growth
12.4.6 REST OF ASIA PACIFIC
12.5 REST OF THE WORLD (ROW)
TABLE 118 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 119 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION)
TABLE 120 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION)
TABLE 121 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION)
12.5.1 ROW: RECESSION IMPACT
12.5.2 SOUTH AMERICA
12.5.2.1 Increasing demand for consumer electronics to drive market
12.5.3 MIDDLE EAST & AFRICA
12.5.3.1 Rising use of connected devices and booming automotive industry to contribute to market growth
13 COMPETITIVE LANDSCAPE (Page No. – 166)
13.1 OVERVIEW
13.2 MARKET EVALUATION FRAMEWORK
FIGURE 60 KEY STRATEGIES UNDERTAKEN BY LEADING PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FROM 2021 TO 2023
13.3 MARKET SHARE AND RANKING ANALYSIS
TABLE 122 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET SHARE ANALYSIS, 2022
FIGURE 61 MARKET SHARE OF TOP 5 PLAYERS PROVIDING WAFER CLEANING EQUIPMENT
13.4 FIVE-YEAR COMPANY REVENUE ANALYSIS
FIGURE 62 FIVE-YEAR REVENUE ANALYSIS OF KEY COMPANIES
13.5 COMPANY EVALUATION MATRIX, 2022
FIGURE 63 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET (GLOBAL): COMPANY EVALUATION MATRIX, 2022
13.5.1 STARS
13.5.2 EMERGING LEADERS
13.5.3 PERVASIVE PLAYERS
13.5.4 PARTICIPANTS
13.6 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: COMPANY FOOTPRINT
TABLE 123 OVERALL COMPANY FOOTPRINT (10 COMPANIES)
表124 アプリケーション・フットプリント（10社）
表 125 地域別フットプリント（10 社）
13.7 2022年の新興企業／MES評価マトリックス
図 64 ウェーハ洗浄装置（世界）：新興企業／市場評価マトリックス、2022 年
13.7.1 進歩的企業
13.7.2 対応する企業
13.7.3 ダイナミック・カンパニー
13.7.4 スターティングブロック
13.8 競合ベンチマーキング
表126 ウエハー洗浄装置市場：主要新興企業/会社リスト
表127 ウエハー洗浄装置市場：主要新興企業/メッシュの競合ベンチマーキング
13.9 競争シナリオ
13.9.1 製品発売
表128 製品発表（2022年12月～2023年1月
13.9.2 ディールス
表129 2022年7月～2023年7月の契約件数
表130 その他（2021年11月～2023年5月
14 企業プロフィール (ページ – 183)
(事業概要、提供する製品/ソリューション/サービス、最近の動向、MnMビュー(主な強み/勝つための権利、行った戦略的選択、弱みと競争上の脅威))*。
14.1 はじめに
14.2 主要プレーヤー
14.2.1 株式会社スクリーンホールディングス
表131 スクリーンホールディングス株式会社：会社概要
図65 スクリーンホールディングス株式会社：会社概要
表132 スクリーンホールディングス株式会社：製品発表
表133 スクリーンホールディングス株式会社：取引実績
表134 スクリーンホールディングス株式会社：その他
14.2.2 東京エレクトロン
表 135 東京エレクトロン：会社概要
図 66 東京エレクトロン：会社概要
表 136 東京エレクトロン：製品発表
表 137 東京エレクトロン：その他
14.2.3 ラムリサーチ株式会社
表 138 ラムリサーチ株式会社：会社概要
図 67 ラムリサーチ株式会社：企業スナップショット
表 139 ラムリサーチ株式会社：取引
表 140 ラムリサーチ株式会社：その他
14.2.4 アプライド・マテリアルズ社
表141 応用マテリアル：会社概要
図68 応用マテリアル：会社概要
表142 応用マテリアル社：取引
14.2.5 芝浦メカトロニクス株式会社
表143 芝浦メカトロニクス株式会社：会社概要
図 69 芝浦メカトロニクス株式会社：会社概要
14.2.6 アクリオン・テクノロジーズ
表 144 アクリオン・テクノロジーズ：会社概要
14.2.7 modutek.com
表 145 modutek.com: 会社概要
14.2.8 PVAヒートAG
146 pva heat ag: 会社概要
図 70 pva heat ag: 企業スナップショット
表 147 pva heat ag: 取引
14.2.9 エンテグリス
表 148 エンテグリス：会社概要
図 71 エンテグリス：企業スナップショット
表 149 エンテグリス：取引
表 150 エンテグリス：その他
14.2.10 ウルトロンシステムズ
表151 ウルトロンシステムズ：会社概要
14.2.11 スース・マイクロテックSE
表 152 スース・マイクロテック：会社概要
図 72 Süss Microtec se: 企業スナップショット
14.3 その他の選手
14.3.1 Veeco Instruments Inc.
14.3.2 SEMES
14.3.3 アクサス・テクノロジー
14.3.4 北京恒大半導体有限公司
14.3.5 東化成株式会社
14.3.6 クリーニング技術グループ
14.3.7 SEMTEK
14.3.8 ap&s international gmbh
14.3.9 ITW
14.3.10 レナ・テクノロジー社
14.3.11 株式会社ティーディーシー
14.3.12 オルブレー株式会社
14.3.13 大日商事株式会社
14.3.14 ウルトラT機器株式会社
*事業概要、提供する製品／ソリューション／サービス、最近の動向、MnM View（主な強み／勝つための権利、戦略的選択、弱みと競争上の脅威）の詳細については、未上場企業の場合、把握できない可能性がある。
15 付録（ページ番号 – 236）
15.1 業界の専門家による洞察
15.2 ディスカッション・ガイド
15.3 knowledgestore: marketsandmarketsの購読ポータル
15.4 カスタマイズ・オプション
15.5 関連レポート
15.6 著者詳細
